euv和duv区别：1、duv基本上只能做到25nm，而euv能满足10nm以下的晶圆权制造；2、duv主要利用光的折射原理，而euv利用的光的反射原理，内部必须为真空操作。euv和duv区别：1、制程范围不同du......
09-19 329 euv和duv区别
euv和duv区别：1、duv基本上只能做到25nm，而euv能满足10nm以下的晶圆权制造；2、duv主要利用光的折射原理，而euv利用的光的反射原理，内部必须为真空操作。euv和duv区别：1、制程范围不同du......
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